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產(chǎn)品中心

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VRS設(shè)備




環(huán)境的重要性逐年增強(qiáng),尤其是VOCs的環(huán)境污染,導(dǎo)致環(huán)境污染,許多工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生災(zāi)害, 由此產(chǎn)生的產(chǎn)業(yè)災(zāi)害每年都在急速增加。

產(chǎn)品詳情


       環(huán)境的重要性逐年增強(qiáng),尤其是VOCs的環(huán)境污染,導(dǎo)致環(huán)境污染,許多工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生災(zāi)害, 由此產(chǎn)生的產(chǎn)業(yè)災(zāi)害每年都在急速增加,。

       特別是在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,必須使用各種化學(xué)藥品的環(huán)境,VOCs的排除量很高,特別是Display,,生產(chǎn)工藝規(guī)定的排放限制或ISO  14001 的應(yīng)對(duì) ,,作業(yè)環(huán)境改善的觀點(diǎn),,VOC的減少及處理是必需的,。

       污染嚴(yán)重的封閉無塵車間內(nèi)對(duì)制程設(shè)備及生產(chǎn)產(chǎn)品的表面的particle污染加劇,,部分產(chǎn)生二次化學(xué)反應(yīng),,加劇污染造成產(chǎn)品不良, 必要的揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)減少對(duì)產(chǎn)品良率提升有一定影響,。 目前,VOCs一般采用zeolite Roll結(jié)構(gòu)方式較多,,這種結(jié)構(gòu)VOCs濃縮率只限于15倍左右 。 為了克服這一難題,我們生產(chǎn)了Cylinder結(jié)構(gòu)的設(shè)備,,濃縮率可達(dá)到30倍,。

 

工作原理

 

設(shè)備效能

 


設(shè)備規(guī)格

區(qū)分

規(guī)格

備考

設(shè)備名稱

VRS – 350C

 

Dimension

W : 1700mm, H : 1700mm, L : 3800mm

分離型

電源規(guī)格

3相 380V 50Hz 44KVA

 

控制System 

PLC 控制 (Mitsubishi) 

適用Touch screen 

Process Fan &  Motor

Air Volume

350 CMM

定風(fēng)量

Fan  正壓

 160mmAq

PLENUM FAN 

Motor

18.5KW X4P

3Φ 380V 50Hz

React Fan & Motor

Air Volume

9 CMM -17.5CMM

可變風(fēng)量

Fan 正壓

140mmAq

Turbo Fan 

Motor

1.5kw

3Φ 380V 50Hz

Cylinder & Motor

Cylinder

Φ1420 , H:1040

Honeycomb Block Type

Motor

0.9kw

鏈條驅(qū)動(dòng)

React Heater

23KW  (再生溫度 210℃ )

1.27KW x18ea

自動(dòng)滅火設(shè)備

CO2 自動(dòng)滅火設(shè)備  14kgs

CO2 Cabinet Type

Auto Damper

PRD Damper Type

 

VOC Reduction Efficiency去除效率 90%  OVER Operate  Normally over 95%

 

設(shè)備安裝

 

可行方案推薦
        考慮到潔凈室的環(huán)境條件(恒溫恒濕的潔凈環(huán)境)以及污染源的構(gòu)成、 物理性質(zhì),、濃度數(shù)值等可采用的去 除VOC的方案基本鎖定在濃縮法,、 吸附法和凝縮法。

       01: FFU+化學(xué)過濾器(吸附法),,F(xiàn)FU配置的化學(xué)過濾器,,吸附材料填充量有限容易吸附 飽和,適用于環(huán)境VOC濃度不高的場(chǎng)合,,通常在制程工藝較先進(jìn)的晶原半導(dǎo)體廠,、  LTPS廠等有應(yīng)用。

       02: 污染源區(qū)域氣體直排(置換通風(fēng)),,送入潔凈室內(nèi)的空氣需要進(jìn)行熱濕及過濾處理,, 新風(fēng)成本較高,且污染的空氣真接排放對(duì)大氣會(huì)有污染,。通常應(yīng)用在試驗(yàn)臺(tái),、小型 試驗(yàn)區(qū)等。

       03: 潔凈室內(nèi)增設(shè)VOC處理設(shè)備(吸附濃縮)濃縮后的高濃度氣體需要通過有機(jī)排氣系統(tǒng) 排出,,污染源附件通常設(shè)有有機(jī)排氣管路,,若有機(jī)排氣系統(tǒng)有余量可以接入。此方 案在Sansung和LGD 液晶面板廠商中有應(yīng)用,。

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