環(huán)境的重要性逐年增強,尤其是VOCs的環(huán)境污染,導致環(huán)境污染,許多工業(yè)現(xiàn)場發(fā)生災害, 由此產(chǎn)生的產(chǎn)業(yè)災害每年都在急速增加。

       特別是在半導體生產(chǎn)工藝中,必須使用各種化學藥品的環(huán)境,VOCs的排除量很高,特別是Display，生產(chǎn)工藝規(guī)定的排放限制或ISO  14001 的應對 ,，作業(yè)環(huán)境改善的觀點,，VOC的減少及處理是必需的,。

       污染嚴重的封閉無塵車間內(nèi)對制程設備及生產(chǎn)產(chǎn)品的表面的particle污染加劇,，部分產(chǎn)生二次化學反應，加劇污染造成產(chǎn)品不良,， 必要的揮發(fā)性有機物質(zhì)減少對產(chǎn)品良率提升有一定影響,。 目前,VOCs一般采用zeolite Roll結(jié)構(gòu)方式較多，這種結(jié)構(gòu)VOCs濃縮率只限于15倍左右 ,。 為了克服這一難題,我們生產(chǎn)了Cylinder結(jié)構(gòu)的設備,，濃縮率可達到30倍。

工作原理

設備效能

設備規(guī)格

設備安裝

可行方案推薦
        考慮到潔凈室的環(huán)境條件（恒溫恒濕的潔凈環(huán)境）以及污染源的構(gòu)成,、 物理性質(zhì),、濃度數(shù)值等可采用的去 除VOC的方案基本鎖定在濃縮法、 吸附法和凝縮法,。

       01： FFU+化學過濾器(吸附法),，F(xiàn)FU配置的化學過濾器,，吸附材料填充量有限容易吸附 飽和,，適用于環(huán)境VOC濃度不高的場合，通常在制程工藝較先進的晶原半導體廠,、  LTPS廠等有應用,。

       02： 污染源區(qū)域氣體直排(置換通風),，送入潔凈室內(nèi)的空氣需要進行熱濕及過濾處理， 新風成本較高,，且污染的空氣真接排放對大氣會有污染,。通常應用在試驗臺、小型 試驗區(qū)等,。

       03： 潔凈室內(nèi)增設VOC處理設備(吸附濃縮)濃縮后的高濃度氣體需要通過有機排氣系統(tǒng) 排出,，污染源附件通常設有有機排氣管路，若有機排氣系統(tǒng)有余量可以接入,。此方 案在Sansung和LGD 液晶面板廠商中有應用,。