產(chǎn)品中心
Product Center
產(chǎn)品詳情
主要用途：
曝光工程前，使 GLS 上部涂布的PR 達(dá)到恒溫狀態(tài),，達(dá)到縮短工程的 Tact Time和PR 的不變形,是防止產(chǎn)生不良的恒溫恒濕 Chamber System
主要技術(shù)：
精確控溫加熱單元（ HCS熱控系統(tǒng)） 西門(mén)子S7可編程控制系統(tǒng) 雙流程精準(zhǔn)控溫列管型冷卻系統(tǒng) 溫度穩(wěn)定性 : 23℃±0.5℃ 清凈度度 : Class1(ISO14644-1) CDA潔凈度：符合ISO12500標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品規(guī)格
| KC-6000H | KC-12000H | ||
| 控制系統(tǒng) | 西門(mén)子 PLC+Touch Screen | ||
| 電源 | 208V 三相 50HZ | ||
| 設(shè)備尺寸 | 1200（W）*2100（L）*1700（H） | 1400（W）*2500（L）*1700（H） | |
| 總功率 | Min:100W Max:300W | Min:1100W Max:2100W | |
| 加熱器 | 1400W | 1800W | |
| CDA | 最大壓力 | 1Mpa | |
| 進(jìn)氣壓力 | ＜0.8Mpa | ||
| 進(jìn)氣溫度 | ＜35℃ | ||
| 控制溫度 | 23±0.5℃ | ||
| CDA處理量 | 2820 LPM | 5640LPM | |
| CHW | 冷凍水壓力 | 0.4~0.6Mpa | |
| 冷凍水溫度 | 14℃ | ||
| 冷凍水流量 | 22LPM | ||
| 冷卻器 | 雙流程精準(zhǔn)控溫列管型 | ||
| 管道尺寸 | 氣路管道 | 2寸 法蘭 | |
| 水路管道 | 3/4寸 卡套 | ||
冷卻系統(tǒng)
參考流量：22L/Min Max 換熱器型號(hào)：90系列
四管程雙回路 降溫精準(zhǔn)控制流體 控制精度 ±0.5
優(yōu)勢(shì)：雙回路精確控制降溫溫度,，大范圍余量降溫控制能力
精確控溫加熱單元（ HCS熱控系統(tǒng)）
衛(wèi)生級(jí)工況 RA＜0.4UM
無(wú)極調(diào)控，無(wú)極調(diào)壓,、 主控PLC系統(tǒng)
控制精度 5‰ 可控范圍±0.1°
主控系統(tǒng)：德國(guó)賽米控可控硅,，西門(mén)子可編程控制器
工藝控制采用 電氣專線專用，保證電氣回路可靠性,，使用編碼制一線一用，信號(hào)線專線專色隔離制度保證安全可靠,，干擾小精度高
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